迪恩士DNS eFLOW 3000CK-BST2湿法清洗台，适配多种尺寸晶圆。通过喷淋、超声等技术，利用特定化学药液与去离子水，高效清除晶圆表面颗粒、有机物及金属杂质。能精准调控工艺参数，确保清洗效果稳定，还可搭配浓度监控等功能，提升制程稳定性 。