东电电子TEL CELIESTA+单片清洗系统，专为半导体制造打造。它能借物理、化学协同手段，利用特定清洗液配合喷淋、超声等技术，高效去除晶圆表面的颗粒、有机物及金属杂质。还具备先进干燥功能，防止图案塌陷，保障晶圆高质量，助力提升芯片制程良品率 。