东电电子TEL TERRESTA MB兆声波清洗系统，专为半导体晶圆清洗打造。它利用800至2000kHz的高频声波，推动清洗液加速冲击晶圆表面，配合特制化学清洗剂，能温和且高效地去除晶圆上0.1至0.3μm的细微颗粒、有机物及金属杂质，同时避免损伤晶圆，助力提升芯片制程良品率 。