东电电子TEL NS300＋300毫米晶圆清洗系统，基于领先的涂布/显影平台打造，具备高可靠性与稳定性。它能对晶圆正面、背面及边缘进行清洗，借优化的雾化喷淋与机械刷技术，高效去除颗粒、有机物等杂质，同时减少对晶圆的损伤，提升生产效率与制程良率 。