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400-0305-668
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应用材料AMAT RC20F2ECD1205电化学沉积模块,可在半导体晶圆等基板上沉积金属。通过电解液与电流作用,能实现铜、金等金属沉积,用于大马士革铜互连、封装Bump等工艺,助力形成高质量金属互连结构。
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