东洋技术 TAKATORI ATM-8100 全自动真空晶圆贴片机，可在切割制程前将晶圆安装到切割框架上，能校正晶圆翘曲，适用薄至 150μm 的晶圆，具备膜张力记忆功能，主要应用于半导体行业的晶圆加工制程。