瓦利安 VARIAN D1500 Rev B 离子注入机可将特定掺杂剂离子加速注入硅片，能精确控制离子束的能量、剂量和注入角度。其应用于先进逻辑器件、3D 存储、传感器制造等领域，可满足不同制程的离子注入需求。