住友重工 SUMITOMO SWA-90GD 激光退火设备采用二次谐波激光（Green），可用于 SiC 的硅化物退火，通过对 SiC 晶圆进行激光照射，实现背面电极的硅化（合金化），其生产性较高，主要应用于功率半导体制造领域。