东京电子 TELINDY-B-L 扩散炉是 300mm 晶圆处理平台，可处理 125 片晶圆批次，具备原位干气清洗技术，有快速升降温加热器及高速机械臂，适用于普通氧化 / 退火、自由基氧化、LPCVD 薄膜等工艺 。