东京电子 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303L-K 扩散炉

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东京电子 ALPHA-303L-K 扩散炉是一款 12 英寸全自动单晶圆扩散炉，属于 PECVD 炉型。其采用氦气冷却，温度均匀性优于 ±1℃，配备远程控制等多种监测控制功能，主要用于先进半导体器件制造中的相关沉积和去除工艺。

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