泛林 LAM RESEARCH AC/AC-Converter TCP 变压器耦合等离子体交流转换器，用于在半导体制造中配合 TCP 技术。它可将交流电能转换为射频信号，激发反应气体形成高密度等离子体，并可独立调控等离子体密度与离子能量，主要应用于半导体蚀刻工艺等场景 。