和井田 WAIDA SIG-V4 是超精密平面磨床，用于研磨蓝宝石基板、SiC 基板、陶瓷等硬脆性材料，可对 6 吋晶圆批量加工，具备非接触式厚度检测、抛光用贴付板自动搬送功能，以独创砂轮进行无打磨加工 。