东京精密 TOKYO SEIMITSU UF3000 全自动探针台可处理 12 英寸晶圆，对准精度 ±2 微米，Z 轴精度 ±1 微米，卡盘温度范围 -40°C 至 200°C，兼容多种探针卡，具备自动校准功能，应用于半导体晶圆的多种电气性能测试等领域 。