英福康 INFICON CPM100 (339) 可对残余气体做过程监测与分析，测量速度为每点 1.8ms，具备自动校准功能，集成 FabGuard 软件，结构紧凑，适用于 ALD、蚀刻、CVD 等场景，能验证真空完整性、鉴别痕量污染物等 。