阿尔派 AEP Nanomap+1000WLI 是白光干涉式非接触台阶仪，垂直分辨率达 0.01nm，可搭载 6 枚物镜 。能开展二维、三维分析及粗糙度等测量，适用于半导体、金属材料、生物材料等的台阶高度、薄膜厚度检测 。