东京电子 TEL TSP-30555SSS 干法刻蚀机采用创新等离子蚀刻技术，配备高精度气体流量控制与等离子体均匀性调节系统，可精准蚀刻多种半导体材料，适用于 28nm 及以上制程工艺，能保障复杂电路图案的蚀刻精度。