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优仪 AE SOLVIX MAGIX 20K SPUTTERING ICE 射频电源专为溅射镀膜工艺设计,提供稳定 20kHz 射频能量输出,支持精确功率控制与等离子体管理。其核心功能包括电弧抑制、高沉积速率及低基材损伤,适用于半导体晶圆制造、光学器件抗反射膜沉积、平板显示行业的薄膜工艺Advanced Energy。该电源通过优化阻抗匹配和频率调节,实现纳米级薄膜均匀性,满足高密度存储介质、光伏涂层等场景的高精度需求。
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