优仪 AE/ADVANCED ENERGY PE II 10K 中频电源专为磁控溅射工艺设计，提供 40kHz 正弦波输出，支持 10kW 功率调节及内部负载匹配（10:1 阻抗范围）。其核心功能包括双电弧抑制电路、自动工艺维持（组合输出时功率动态分配）及 ±0.1% 的功率控制精度。该电源采用水冷设计，兼容 PLC 控制，适用于半导体晶圆制造、平板显示反应溅射（如 Al₂O₃/SiO₂镀膜）、工具镀钛及类金刚石涂层等场景，通过宽阻抗匹配（370-1000V DC）和低谐波输出（-30dBc）确保纳米级薄膜均匀性。