优仪 AE/ADVANCED ENERGY pdw2200 是一款 2200W 射频电源，输入 208VAC 三相，输出 400kHz 正弦波，阻抗 50Ω。其功能包括快速弧抑制（<1μs）、低储能设计（减少 EMI/RFI），支持连续负载失配运行。主要应用于化学气相沉积（CVD）、蚀刻、介电溅射及等离子体聚合系统，满足高精度波形需求。