优仪 AE/ADVANCED ENERGY RFG2000-2V 是一款 3000W 射频电源，输入 3 相 208VAC（50/60Hz，20A），输出 13.56MHz 正弦波，采用水冷设计。其功能包括稳定功率输出、支持连续负载运行及过流 / 过压保护，集成固定匹配网络（MFA）实现高效功率传输。主要应用于半导体制造中的化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、等离子体蚀刻及溅射工艺，满足薄膜沉积与材料表面处理的高精度需求。