优仪 AE/ADVANCED ENERGY PDX 900-2V 是一款 900W 射频电源，输出频率 350kHz，输入 190-230VAC 单相（12.2-14.8A），采用风冷设计。其功能包括稳定功率输出（8-900W）、固定匹配网络（25-125Ω 阻抗范围）及过流 / 过压保护，支持脉冲模式（0-10kHz）和多协议通信（RS-232、以太网、PROFIBUS）。主要应用于等离子蚀刻、反应离子蚀刻、射频溅射及直流溅射（带射频偏压），满足半导体制造中薄膜沉积与表面处理的高精度需求。