优仪 AE/ADVANCED ENERGY RFPP RF-30SWC 射频电源是一款工业级设备，输入为 3 相 208VAC，输出功率 3000W、频率 13.56MHz。其核心功能是将直流电能转换为高频交流电，通过电子线路实现功率放大与信号调节，输出稳定的射频能量。该电源主要应用于半导体制造领域，支持等离子体刻蚀、物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）等工艺，通过精确控制射频功率激发反应气体电离，实现晶圆表面的精细处理Advanced Energy。其设计满足工业级稳定性要求，适用于对能量传输精度和可靠性有严格需求的场景。