万机仪器 MKS type 670 控制器的电源集成于信号调理器 / 显示器模块中，输入电压范围 90-132V 或 180-264V AC，输出 24V DC 及 ±10V DC 信号，为 Baratron® 压力传感器提供稳定供电并实现信号调理，支持 RS-232 通信及多量程自动切换。该电源适用于半导体制造、工业过程控制等场景的高精度压力监测与控制mks.com。

万机仪器 MKS SPECTRUM 11002-00 射频电源是一款 13.56MHz 固态射频发生器，输出功率 1.5-11kW，支持水冷散热（流量 ≥8L/min）及数字接口（如以太网），具备自动阻抗匹配和过流 / 过热保护功能。其应用包括半导体刻蚀、PECVD 薄膜沉积、光伏电池制造及平板显示器生产等高精度等离子体工艺。