万机仪器 MKS GHW-50A 射频等离子发生器是一款 13.56 MHz、5 kW 功率的高频设备，专为半导体制造设计。其功能包括动态功率调节（10-5000 W）、自动阻抗匹配及实时负载失配保护（反向功率达 20% 额定值时 0.25 ms 内限制正向功率），支持 RS-232 等数字通信接口，具备低谐波输出（<-40 dBc）和宽输入电压兼容性（200-480 VAC）。应用领域涵盖等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、高密度等离子体 CVD（HDPCVD）、干法刻蚀及薄膜沉积工艺，适用于集