万机仪器 MKS EDGE30R40A 射频电源是一款 400KHz 固态射频发生器，输出功率 2500W，采用水冷散热设计（流量 ≥3.78L/min），支持以太网、RS-232 等通信接口，具备快速负载匹配及过流 / 过热保护功能。其应用包括半导体刻蚀、PECVD 薄膜沉积、平板显示器制造及光伏电池生产等高精度等离子体工艺。