万机仪器 MKS EDGE 10060A 射频电源是一款高频固态电源，工作频率 57-63MHz，输出功率 10kW，采用水冷散热设计（最小水流速度 1.5Gal/min），支持 RS-232、以太网等通信接口，具备过流 / 过热保护功能。其应用包括半导体制造中的化学气相沉积（CVD）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等精密工艺，用于薄膜沉积与刻蚀。