万机仪器 MKS AX7645 是基于低场环形等离子体技术的远程等离子体源发生器，主要功能是电离 NF₃ 等含氟气体产生活性氟原子，用于半导体制造中化学气相沉积（CVD）腔室的清洁及薄膜沉积工艺。其模块化设计支持高流量气体处理，可集成于半导体设备实现精密等离子体调控。