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阿德特克 ADTEC AMVG-1000-HLF-KZ3-A 射频电源匹配器专为半导体制造设计,支持 13.56MHz 工作频率,具备高速自动阻抗匹配功能,可通过 AMV 软件实现预设参数管理和动态调节,匹配精度高且响应速度快,能有效降低射频反射损耗,提升能量传输效率。其应用涵盖等离子体刻蚀、PECVD 薄膜沉积、射频溅射等工艺,适配晶圆处理设备的复杂阻抗需求,支持定制化接口和外观设计以满足不同产线环境。
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