ULVAC EBX-10D是一种具有高功率等离子体工艺的多功能第三代EB等离子体源,非常适合广泛的工业用途。这个反应堆能够产生非常高温的等离子体.它由电子束（EB）和外部供应的能量为10 MeV的电子组合提供动力。EBX-10D具有低压电源，它可以提供非常高的电子束加速功率。ULVAC EBX-10D除了其高功率等离子体工艺外，还使用户能够执行多种工艺，如溅射、蚀刻、分层以及产生反应性离子交换物种。此外,EBX-10D提供了非常广泛的控制设置,允许在流程基础上进行定制,以实现更好的流程控制和优化。它的设计考虑了安全性，因为它具有紧急互锁系统和过电压保护功能。ULVAC EBX-10D能够在其主室内达到高达15,000摄氏度的温度。它在腔室外侧设有石英窗，可以连续查看等离子体形成。此外，该反应堆还具有环境控制系统，这使得保持过程环境的完整性更加容易。由于模块化设计,EBX-10D具有很高的适应性,它允许安装各种可互换组件。反应堆配有旋转电动机，使其能够在溅射或蚀刻过程中旋转基板，从而产生更均匀的沉积。此外，ULVAC EBX-10D具有超高通量设计，允许非常高的负载能力，使其最适合于能够处理大批量底物的反应堆。EBX-10D具有成本效益,对工业应用具有吸引力。它安全、可靠、高度可靠，是满足广泛工业需求的理想选择。它不仅具有强大的管理范围广泛的流程的能力,而且还为用户提供了允许可定制性的高度控制,这在工业流程中非常重要。