NOVELLUS MB2反应器是一种高精度的化学沉积设备，用于薄膜沉积过程。它是一种多轴、多工作站的工具,可提供最高级别的性能和工作效率。MB2设计用于处理多种基材，包括硅片、玻璃基材、石英和塑料。它能够在各种材料和应用中产生最佳结果。NOVELLUS MB2使用多站、高精度的光学跟踪系统，监测基板的位置和方向，然后相应调整工艺参数。该单元还向用户提供反馈,以便获得最佳结果。该机器设计为自动调整工艺参数，以确保基板以最高质量和一致性沉积。MB2配备了一系列工艺和现场计量工具，可用于质量和生产监测。这些工具用于监测基板的性质，如表面质量、沉积均匀性、晶体结构和颗粒计数。这样可以更好地控制流程,并确保高一致性。NOVELLUS MB2可配置为处理多种材料，包括单层和多层沉积，大面积半导体沉积，以及广泛的纳米结构。这些材料可用于多种应用，包括高性能晶体管和半导体器件、高级内存和存储器件以及OLED显示器。MB2提供了出色的工艺灵活性,使其能够处理各种尺寸、形状和成分的基板。它还提供了高度的集成,允许在实验室环境中轻松与其他工具进行接口。NOVELLUS MB2能够与多种气体一起操作，包括氙气、氧气、氢气、氯气和其他工艺相关气体。MB2反应堆结合了高精度的工艺和计量能力，以及一个强大而精确的光学跟踪工具，为用户提供最高水平的性能和效率。通过提供出色的工艺和工具集成,NOVELLUS MB2是任何实验室设置的理想工具,允许用户在各种材料和应用程序中产生一致的结果。