ULVAC EBX-8C是一种用于薄膜工业的单端、批处理、高反应性设备。这种反应器被用于广泛的过程，如键合、溅射、薄膜形成、化学气相沉积（CVD）和等离子体增强的CVD（PECVD）。系统独特的图形用户界面UwinTM允许快速、轻松的进程参数预览。EBX-8C有一个微处理器控制，直径为300毫米（1.2英寸）的反应室，有一个300毫米可打开的电渣样品室。该设备的多个工艺室可实现高效、高吞吐量的处理,并提供卓越的环境兼容性。ULVAC EBX-8C的多区温度管理机在紧密稳定的工艺参数下确保高质量的薄膜。EBX中还包括一个可调谐的频率控制的1300 W直流射频发生器，允许300MHz调谐范围。LCD显示屏上的EBX-8C配备了高精度的气体供气分析工具，并对氧气和硝酸氯进行了快速监测。ULVAC原有的可选资产控制器提供广泛的精密控制功能，如空气和水的联锁、反应物气流测量和露点控制，以及真空和压力控制。EBX进一步配备了疏散转运室和负载锁模型。这确保了无尘环境，并防止反应室暴露于外部环境，使得EBX成为低缺陷处理的理想选择。ULVAC EBX-8C还通过了EMC对7个主要标准的兼容性测试,并通过了一系列CE应用程序的认证,非常适合安全的工业应用程序。为确保安全,EBX-8C与ULVAC系列其它批量溅射系统共享许多功能。这包括空气和水联锁系统、紧急关闭开关和真空联锁。ULVAC EBX-8C的20个可编程功能控制设备也允许用户进一步定制反应堆参数，以适应他们的工艺需求。总之，EBX-8C是一种高效、多用途的反应系统，设计用于处理一系列高精度薄膜工艺。其独特的图形用户界面，加上一系列先进的安全功能和精密的过程控制系统，使其成为一系列批处理应用的理想解决方桉。