AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30139是为半导体器件测试、生产和工艺研究而设计的一种工艺室涂层反应器。该反应堆结合了AMAT预期的先进和经过验证的技术以及模块化和高度可重新配置的平台的多功能性。通过这种高级设计,随着过程和配置要求的随时间变化,系统提供了最终用户的灵活性。AMAT 0010-30139反应器是一种电子束工具，其中使用强大的电子束在半导体晶圆或平板等基板上生成薄涂层。光束由电子枪产生，聚焦于基板所在的目标。所得薄涂层可以提供折射率、应力状态和介电常数的复杂包络。APPLIED MATERIALS 0010-30139被设计为一个高度可配置的平台，可以进行优化以满足特定工业应用的需求。该系统的设计高度通用，允许不同的气体化学和涂层配置。该系统可配置为静态或动态温度控制、溅射离子清洗或离子表面清洁，以有效管理薄涂层工艺。0010-30139反应堆覆盖广泛的底物，最多可处理八个实时过程操作，最多可配置四个电子枪。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30139反应堆提供了高度可重构的平台，在一个包中有广泛的工艺选择。这种组合使得它成为半导体器件测试、生产和工艺研究等应用的理想选择。它的模块化设计和先进技术确保了高效的操作和最大的最终用户满意度。