AMAT/APPLIED MATERIALS 0100-20100 Reactor是一种热处理设备，为各种沉积应用提供出色的工艺控制和一致性。它是为高通量和高沉积速率而设计的，是生产工艺的理想选择。该系统由反应室、加热元件和计算机控制的过程管理单元组成。反应室是为涉及高温的应用而设计的，最高工艺温度为1000 °C。腔室设有两个惰性气体入口和两个排气口，以及一个排气口。此外，该室还配备了若干可配置的挡板、筛分组件和热电偶，以确保均匀沉积。机器的加热器元件由高可靠性、低功耗电源提供动力，由基于PLC的闭环过程控制工具控制。资产向加热器元件发送电流和电压输入,并自动调整元件的功率,以确保保持所需的温度。元素的实际温度由位于反应室内的热电偶监测。该模型由PC控制的过程自动化软件进行管理，允许对过程温度、过程时间、质量流等参数进行轻松设置和调整。软件还存储流程数据以进行离线数据分析,并确保流程可重复且稳定。它还可以方便地访问和控制加热器元件、气流控制和拦截室功能。AMAT 0100-20100反应堆提供可靠和可重复的工艺，确保各种沉积应用的持续高质量的结果。其将各种基板加热至高温的能力是生产工艺的一个有价值的特点，使其成为许多工业应用的理想选择。