AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-48594EB是一种多用途、高精度的反应堆设备，设计用于执行可靠和高效的基板工艺。该系统能够在高压和低压两种应用中运行，适用于广泛的实验和工艺要求。反应堆配备了多项先进功能，包括自动化的连续进料和样品循环技术、精确的温度映射和惰性气体控制单元。该机以直径400mm，高度300mm的石英外轴反应器室为基础，为实验提供了充足的空间，增加了底物稳定性。侧壁由不锈钢构成，以确保热和化学稳定性，而石英穹顶则保证了均匀的加热和红外辐射。石英反应室能够产生高达3000W的功率,从而产生高达2000 °C的工艺温度。Epi-growth反应堆装有各种适合先进实验的元件。它具有三区采样/基板加热电源，提供精确的温度映射以获得更可靠和一致的结果。气体控制工具设计用于低压或高压操作，有助于确保可重复性和可靠性。此外，资产还配备了连续原位石英监测模型，让用户在加工过程中监测石英，以确保最佳健康和性能。AMAT 0040-48594EB反应堆是一种进行多用途基材工艺研究的强大而高效的工具。这种设备能够在各种高压和低压条件下运行，能够对各种材料进行可靠的试验。该系统配备了多项先进功能，如精确的温度映射、气体控制支撑和连续的石英监测。