AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-36180 Rev 001是一个最先进的热反应堆，利用强制对流和间接加热技术，达到最佳的过程均匀性、重复性和温度控制。该反应堆能够处理温度均匀度为+/-1.0C、稳定性为+/-0.1C的温度范围为253至1351摄氏度（C）。它还提供45升/分钟的最大气体流量，可调至150毫巴。该反应堆由不锈钢和铝合金制成，带有额外的密封和绝缘材料，以优化性能，是为寻求可靠和长期解决方桉的用户设计的。反应堆配备了自动温度/压力控制（ATPC）、实时数据监测和储存、专利供暖制冷技术等先进功能。ATPC确保腔室保持在最佳温度和压力，而实时数据监控和存储允许用户保存每次扫描的记录。获得专利的加热和冷却技术有助于减少达到运行温度所需的时间,并最大限度地减少每个循环开始时的冷却时间。反应堆还包括单独的加热和冷却柜，使其能够处理多种工艺类型。为了进一步提升反应堆的性能，AMAT 0040-36180 Rev 001包含可选配件和服务。其中包括气体输送系统、过滤系统、气体溷合系统以及数据采集系统和软件。所有这些组件都可以组合在一起,以确保工作流程顺畅,在流程中实现最高的效率和性能。此外，这座反应堆的设计也是为了方便进出和维护。门盖和顶盖分别打开,以便清洁内部部件和检查组件。而且反应堆配有防止意外开启的安全锁定机构和内置的LED系统，以提醒操作人员任何故障排除需求，使其成为许多生产应用的绝佳选择。