MKS 631D-32705 是高温电容压力计。其可在 150℃或 200℃高温下工作，减少传感器副产物沉积，测量精度为读数值的 0.5%。主要应用于半导体制造中的金属蚀刻、CVD 等工艺，也可用于生物制药加工设备如冻干机和灭菌器。