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MKS 627D11TDC2P 真空计是一款复合真空计,采用单片机技术,具备手动和自动模式,可根据真空度自动切换热偶规和电离规进行测量。其主要应用于半导体制造、真空镀膜、材料研究等需要真空度测量与控制的领域。
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