MKS 626D01TDE 1TORR 真空计采用电容式传感技术，满量程压力测量为 1Torr，读数精度 0.25%，响应时间小于 20 毫秒，具备温度补偿功能，输出 0-10 VDC 模拟信号。适用于半导体制造、电子、科研等领域。