MKS 626B11TBE 真空计采用电容式传感器技术，测量范围为 10⁻³ 到 10⁻⁹Torr，具备自动校准和温度补偿功能，响应时间小于 20 毫秒，精度高。主要应用于半导体工艺、薄膜沉积、离子束溅射等领域。