松下 MHMF5AZL3Q4 伺服电机属于 A6 系列，是小容量、大惯量电机。其分辨率为 23bit，速度响应频率为 3.2kHz，具有劣化诊断报警、绝对式 / 增量式数据补偿等功能。可应用于半导体及液晶制造设备、工作机、工业机器人等领域。